前言：

本報(bào)告作為半導(dǎo)體設(shè)備研究的第五篇，將從以下幾個(gè)方面對(duì)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商進(jìn)行介紹分析：

第1部分對(duì)國內(nèi)具備發(fā)展?jié)摿Φ脑O(shè)備廠商進(jìn)行介紹；

第2部分將對(duì)國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的發(fā)展路徑進(jìn)行分析與探討。

一、國內(nèi)具備發(fā)展?jié)摿Φ脑O(shè)備廠商

隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速發(fā)展，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)呈現(xiàn)出較快發(fā)展的勢頭。在國家科技重大專項(xiàng)以及各地方政府、科技創(chuàng)新專項(xiàng)的大力支持下，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備銷售快速穩(wěn)步增長，多種產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)從無到有的突破，甚至有些已經(jīng)通過考核進(jìn)入批量生產(chǎn)，在國內(nèi)集成電路大生產(chǎn)線上運(yùn)行使用。下面就對(duì)國內(nèi)具備發(fā)展?jié)摿Φ脑O(shè)備廠商進(jìn)行介紹：

1.1、沈陽拓荊

沈陽拓荊是國內(nèi)領(lǐng)先半導(dǎo)體薄膜設(shè)備供應(yīng)商，主要產(chǎn)品包括 8 英寸和 12 英寸PECVD（等離子體化學(xué)氣相沉積）設(shè)備、 ALD（原子層薄膜沉積）設(shè)備、 3D NANDPECVD（三維結(jié)構(gòu)閃存專用 PECVD）設(shè)備等，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路前道和后道、TSV 封裝、光波導(dǎo)、 LED、 3D-NAND 閃存、 OLED 顯示等領(lǐng)域的生產(chǎn)制造，下游客戶覆蓋晶圓制造、芯片封裝、顯示面板等多個(gè)領(lǐng)域。 公司 CVD 設(shè)備在長江存儲(chǔ)中標(biāo)3 臺(tái)，市占率 1%，華虹無錫中標(biāo) 2 臺(tái)，市占率 6%，上海華力二期中標(biāo) 3 臺(tái)，市占率 4%。公司設(shè)備正在加速滲透。

沈陽拓荊 2018 年?duì)I業(yè)收入為 1.04 億元，凈利潤-0.47 億， 2019 年至 9 月 30 日營業(yè)收入 0.29 億，凈利潤-0.33 億元。 公司目前處于非盈利狀態(tài)，考慮公司 CVD 設(shè)備已中標(biāo)長江存儲(chǔ)、華虹半導(dǎo)體、上海華力等國內(nèi)一線晶圓廠，沈陽拓荊仍處于高速發(fā)展階段，成長可期。

1.2、中科儀

中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司是一家集真空儀器裝置研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的高科技企業(yè)，其前身是中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心，創(chuàng)建于 1958 年。多年來，公司依靠自身的技術(shù)和人才優(yōu)勢，創(chuàng)造了多項(xiàng)國內(nèi)第一，多次打破發(fā)達(dá)國家技術(shù)封鎖。曾先后獲得國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)十余項(xiàng)，中國科學(xué)院及省部級(jí)科技進(jìn)步獎(jiǎng)五十余項(xiàng)，國家級(jí)新產(chǎn)品三十余項(xiàng)，擁有專利 80 余項(xiàng)，是遼寧省、沈陽市的高新技術(shù)企業(yè)。（資料來源：公司官網(wǎng)）

公司為了研發(fā)、生產(chǎn)和銷售應(yīng)用于高端領(lǐng)域的集成電路裝備 PECVD 設(shè)備，更好地承接相關(guān)科研項(xiàng)目，投資設(shè)立了沈陽拓荊。對(duì)于相關(guān)科研項(xiàng)目，拓荊科技與母公司合作完成。公司尤其在科研高端真空裝備方面占據(jù)國內(nèi)領(lǐng)先地位。公司以高真空、超高真空、潔凈真空技術(shù)為基礎(chǔ)，主要研發(fā)生產(chǎn)各類薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、單晶爐、太陽能光伏設(shè)備、集成電路裝備、大科學(xué)工程裝備、無油真空獲得及系統(tǒng)集成。干式真空泵產(chǎn)品集成了機(jī)械制造、自動(dòng)控制、材料、熱力學(xué)、振動(dòng)等多個(gè)學(xué)科的最新科技成果，在半導(dǎo)體、光電、光伏、科研及醫(yī)藥化工等領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景。

中科儀真空獲得設(shè)備可用于半導(dǎo)體封裝設(shè)備和薄膜制備設(shè)備無油抽氣系統(tǒng)的配泵，實(shí)現(xiàn)不同苛刻程度條件下的潔凈真空環(huán)境的取得；碳化硅晶體生長爐專門用于拉制碳化硅晶體，將碳化硅粉末加熱至升華，氣相成分在濃度梯度的作用下進(jìn)行物質(zhì)傳輸，最后在溫度較低的碳化硅籽晶表面中結(jié)晶，促使晶體長大，并應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域；PVD 鍍膜設(shè)備用于納米級(jí)單層及多層半導(dǎo)體膜、功能膜、硬質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備；CVD 鍍膜設(shè)備可在真空環(huán)境下，通過反應(yīng)氣體，利用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、氣相外延生長等技術(shù)制備各種介質(zhì)膜、半導(dǎo)體膜等。

1.3、華海清科

天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于 2013 年，主要從事 CMP 設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)。公司核心團(tuán)隊(duì)成員來自清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。公司現(xiàn)有 CMP 設(shè)備覆蓋 2-6 英寸、8 英寸以及 12 英寸的晶圓拋光工序，擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，技術(shù)水平高、產(chǎn)量高、性能穩(wěn)定，可以滿足不同客戶的工藝需求，具有強(qiáng)大的市場競爭力。

公司 CMP 設(shè)備已先后進(jìn)入中芯國際、上海華力等本土企業(yè)。2017 年 2 月公司首臺(tái)國產(chǎn)12 英寸 CMP 工藝設(shè)備正式進(jìn)入中芯國際北京廠，華海清科與中芯國際團(tuán)隊(duì)密切配合，在短短 78 天內(nèi)實(shí)現(xiàn)了首臺(tái)國產(chǎn) CMP 工藝設(shè)備產(chǎn)品過百片的階段性目標(biāo)，客戶企業(yè)的累計(jì)生產(chǎn)量從 1000 到破萬只用了不到 50 天。此外，2017 年 8 月公司國產(chǎn)首臺(tái) 8 英寸 Universal-200 型 CMP 設(shè)備也實(shí)現(xiàn)了銷售出廠。2018 年 1 月，公司在中芯國際順利完成 IMD/ILD/STI工藝產(chǎn)品大批量量產(chǎn)之后，Cu&Si CMP 設(shè)備進(jìn)入上海華力，這也是國產(chǎn) CMP 機(jī)臺(tái)第一次進(jìn)入華力，標(biāo)志著國產(chǎn)首臺(tái) 12 英寸銅制程工藝 CMP 設(shè)備正式進(jìn)入集成電路大生產(chǎn)線。（資料來源：公司官網(wǎng)）

1.4、南京晶升能源

南京晶升能源設(shè)備有限公司是一家專業(yè)的晶體生長設(shè)備及解決方案的提供商。公司主要為客戶提供高效率、高附加值的新能源設(shè)備及技術(shù)方案，提供從設(shè)備安裝調(diào)試到工藝技術(shù)培訓(xùn)的一整套高質(zhì)量解決方案。公司核心團(tuán)隊(duì)來自于歐美知名企業(yè)，晶升能源已成功地開發(fā)研制出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)的晶體生長設(shè)備，包括國內(nèi)首臺(tái) 12 英寸350KG 半導(dǎo)體單晶硅爐，采用國際領(lǐng)先技術(shù)的藍(lán)寶石晶圓體生長爐等等。

公司在晶圓模擬生長業(yè)務(wù)具有多種優(yōu)勢：公司能為晶體生長設(shè)備的機(jī)械、電氣設(shè)計(jì)提供支持，確保設(shè)備設(shè)計(jì)的可靠使用。在此基礎(chǔ)上，公司可為實(shí)際晶體生長提供可行的工藝配方。在整個(gè)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、電氣控制設(shè)計(jì)和工藝配方制定等改造升級(jí)過程中，公司為客戶提供有效的理論分析。

1.5、勝達(dá)克（上海）

勝達(dá)克半導(dǎo)體科技（上海）有限公司（勝達(dá)克 (Sandtek)），成立于2016-02-22，是專業(yè)從事半導(dǎo)體技術(shù)和設(shè)備開發(fā)、銷售、咨詢和服務(wù)的全球化公司，為客戶提供自動(dòng)化測試設(shè)備（ATE）。

公司在中國上海、蘇州、臺(tái)灣新竹、日本和美國硅谷設(shè)有辦公室，并擁有一支全球化的高素質(zhì)專業(yè)團(tuán)隊(duì)。公司為客戶提供多種測試系統(tǒng)和解決方案，滿足數(shù)字、模擬和混合信號(hào)測試需求。公司高層管理團(tuán)隊(duì)平均有20年以上的ATE行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，在戰(zhàn)略、市場、產(chǎn)品開發(fā)、業(yè)務(wù)、銷售渠道和客戶服務(wù)支持都有過長期的一線工作經(jīng)歷。     

公司的主力產(chǎn)品Astar具備獨(dú)特的板上DPS/PMU架構(gòu)，使系統(tǒng)更簡化，減少凈化間面積和成本；ADAPTSTAR已經(jīng)得到全球MCU大廠的認(rèn)可, 并簽署開發(fā)和試驗(yàn)量產(chǎn)的合同，國內(nèi)著名設(shè)計(jì)公司已經(jīng)導(dǎo)入，勝達(dá)克在國內(nèi)客戶已經(jīng)超過30家（包括前三大封測廠）。

1.6、芯源微

芯源微成立于 2002 年， 2019 年 12 月于科創(chuàng)板上市。 公司主要產(chǎn)品包括光刻工序涂膠顯影設(shè)備（涂膠/顯影機(jī)、噴膠機(jī)）和單片式濕法設(shè)備（清洗機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)），產(chǎn)品可用于 6 英寸及以下單晶圓處理（LED 芯片制造）及 8/12 英寸單晶圓處理（集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝）。 LED 客戶主要包括華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等， 集成電路客戶主要包括臺(tái)積電、上海華力、中芯國際、長江存儲(chǔ)、華為、華天科技、長電科技、通富微電等。

公司是由中科院沈陽自動(dòng)化研究所發(fā)起創(chuàng)建的國家高新技術(shù)企業(yè)。 2002 年 12 月 1 日，先進(jìn)制造、韓國 STL 簽訂《中外合資經(jīng)營沈陽芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司合同》、《中外合資經(jīng)營沈陽芯源先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)有限公司章程》，約定共同出資設(shè)立芯源半導(dǎo)體，投資總額為 840萬美元，注冊(cè)資本為 420 萬美元。設(shè)立時(shí)，先進(jìn)制造持股 71.43%，韓國 STL 持股 28.57%。

公司股東中有大部分為國有資本背景。 其中， 具有中科院背景的股東包括中科院沈自所（持股 17.06%）、國科投資（持股 8.12%）、國科瑞祺（持股 5.36%），上述中科院背景股東持有發(fā)行人股份不以控股為主要目的。 另外，遼寧科發(fā)實(shí)業(yè)（持股 11.82%）為遼寧省國資委控股單位，無錫市國資委間接持股國科瑞祺。

根據(jù)適用晶圓尺寸的不同，公司產(chǎn)品可進(jìn)一步細(xì)分為 6 英寸及以下單晶圓處理設(shè)備（主要為LED 芯片制造環(huán)節(jié)）及 8/12 英寸單晶圓處理設(shè)備（主要為集成電路制造前道晶圓加工及后道先進(jìn)封裝環(huán)節(jié)）。 其中， 公司 6 英寸及以下單晶圓處理設(shè)備主要用于 LED 芯片制造（包括LED 芯片圖形化藍(lán)寶石（PSS）襯底制備和 LED 芯片晶圓處理）、化合物半導(dǎo)體制造以及功率器件制造。 8/12 英寸單晶圓處理設(shè)備主要用于集成電路后道封裝和前道制造工藝中， 公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、去膠機(jī)、清洗機(jī)已成功應(yīng)用于 Bumping、 WLCSP、 Fanout等后道先進(jìn)封裝工藝的涂膠、顯影、刻蝕、去膠以及清洗環(huán)節(jié)。 另外，公司的前道產(chǎn)品涵蓋涂膠/顯影、清洗環(huán)節(jié)，其中 I-line 涂膠顯影機(jī)已長江存儲(chǔ)上線進(jìn)行工藝驗(yàn)證，可滿足 0.18μm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)工藝； Barc（抗反射層）涂膠設(shè)備在已通過上海華力工藝驗(yàn)證，可滿足 28nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)工藝；前道單片式清洗機(jī)已通過中芯國際（深圳廠）的技術(shù)測試驗(yàn)證，目前已經(jīng)上線應(yīng)用。

1.7、上海睿勵(lì)

上海睿勵(lì)是國內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的集成電路工藝檢測設(shè)備供應(yīng)商，其目前擁有的主要產(chǎn)品包括光學(xué)檢測設(shè)備、硅片厚度及翹曲測量設(shè)備及子公司宏觀缺陷檢測設(shè)備等。上海睿勵(lì)自主研發(fā)的 12 英寸光學(xué)測量設(shè)備 TFX3000 系列產(chǎn)品，已應(yīng)用在 28 納米芯片生產(chǎn)線并在進(jìn)行 14 納米工藝驗(yàn)證，在 3D 存儲(chǔ)芯片上達(dá)到 64 層的檢測能力。產(chǎn)品目前已成功進(jìn)入世界領(lǐng)先芯片客戶 3D 閃存芯片生產(chǎn)線，并取得 7 臺(tái)次重復(fù)訂單，是目前進(jìn)入該國際領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)唯一的國產(chǎn)集成電路設(shè)備產(chǎn)品。上海睿勵(lì)產(chǎn)品還進(jìn)入國內(nèi)多家領(lǐng)先芯片生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)線，其產(chǎn)品和技術(shù)能力已獲得業(yè)界的認(rèn)可。 此外，上海睿勵(lì)應(yīng)用于 LED 藍(lán)寶石襯底圖形檢測的自動(dòng)光學(xué)檢測設(shè)備，也已成功進(jìn)入眾多客戶國內(nèi) LED 外延芯片生產(chǎn)線。

1.8、福州派利德

福州派利德電子科技有限公司成立于2009年3月，專業(yè)從事半導(dǎo)體測試系統(tǒng)、測試分選機(jī)、編帶機(jī)等設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售的國家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，擁有一支軟件、電子、機(jī)械、半導(dǎo)體方面豐富經(jīng)驗(yàn)的優(yōu)秀研發(fā)團(tuán)隊(duì)，公司已獲得過國家科技部科技創(chuàng)新項(xiàng)目以及省重點(diǎn)項(xiàng)目的支持，現(xiàn)擁有9項(xiàng)發(fā)明專利以及20多項(xiàng)實(shí)用新型專利和計(jì)算機(jī)軟件著作權(quán)。

公司主要的產(chǎn)品包括：集成電路測試分選機(jī)、集成電路編帶機(jī)；

公司產(chǎn)品系列：

       ■ PH-112BS系列    SOT系列自動(dòng)分選機(jī)

       ■ PH-212P系列     單軌雙測位并聯(lián)IC自動(dòng)分選機(jī)

       ■ PH-212PS系列    單軌雙測位串聯(lián)IC自動(dòng)分選機(jī)

       ■ PH-314U系列     直背多測位串聯(lián)器件自動(dòng)分選機(jī)

       ■ PTR-410系列     集成電路自動(dòng)編帶機(jī)

       ■ PH-513P系列     測試打印/光檢IC自動(dòng)分選機(jī)

       ■ PH-640P系列     四軌四測位并聯(lián)IC自動(dòng)分選機(jī)

       ■ PH-8240系列     自動(dòng)測試分選打標(biāo)編帶一體機(jī)

       ■ PTRV-013P系列   光耦測試打標(biāo)光檢一體機(jī)

以上設(shè)備分別適用于SOP、ESOP、DIP、MSOP、HSOP、SSOP、TSSOP、SOT、TO-220、TO-220F、TO-263、TO-262、TO-3P、TO-247、TO-252、TO-251、TO-92系列等封裝外形產(chǎn)品的測試分選或編帶。

圖：公司的分選機(jī)及編帶機(jī)

二、國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商的發(fā)展路徑

半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)升級(jí)、需求擴(kuò)張和產(chǎn)能轉(zhuǎn)移的趨勢在中國大陸市場是確定的。全球各大集成電路企業(yè)已陸續(xù)在我國建設(shè)工廠或代工廠，向我國轉(zhuǎn)移產(chǎn)能，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)大陸現(xiàn)有8寸以上晶圓廠總規(guī)劃投資額超過6000億元。SEMI預(yù)計(jì)到2021年，中國將以超過160億美元的設(shè)備銷售額升至首位，超過臺(tái)灣和韓國。且由于中美政治環(huán)境惡化所帶來的高端裝備禁運(yùn)，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商有望迎來加速進(jìn)口替代的歷史性機(jī)遇。

縱觀國內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備巨頭的成長史，最大最成功的企業(yè)必然是將業(yè)務(wù)定位于半導(dǎo)體制造流程中價(jià)值量占比最大的設(shè)備之中，如阿斯麥的光刻機(jī)，拉姆研究的刻蝕機(jī)，應(yīng)用材料的薄膜沉積設(shè)備和全產(chǎn)業(yè)鏈布局等。同時(shí)他們也會(huì)深度服務(wù)和綁定下游核心制造商，并努力在設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)中解決客戶的核心關(guān)切，引領(lǐng)行業(yè)技術(shù)發(fā)展。

雖然目前本土半導(dǎo)體設(shè)備廠商仍與國際巨頭有相當(dāng)大的差距，但目前國內(nèi)設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈格局已初步形成，一些優(yōu)勢企業(yè)已初步具備進(jìn)口替代能力。能夠進(jìn)入主流客戶供應(yīng)體系并契合未來工藝方向的優(yōu)勢企業(yè)主要包括：中微公司（刻蝕機(jī)供應(yīng)國內(nèi)外一線晶圓廠）、北方華創(chuàng)（產(chǎn)品品類覆蓋廣的本土裝備龍頭）、長川科技（探針臺(tái)、數(shù)字測試機(jī)新品蓄力）、晶盛機(jī)電（硅片制造設(shè)備），上海微電子（光刻設(shè)備）、沈陽拓荊（薄膜沉積設(shè)備）、中科儀（真空獲得設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備）、盛美半導(dǎo)體（清洗設(shè)備）、華海清科（CMP設(shè)備）、南京晶升能源（硅片制造設(shè)備）等。

國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商底子薄，如何實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，提升市場份額，在市場、產(chǎn)品、技術(shù)、人才上趕上國際巨頭？

2.1、在提升性價(jià)比的同時(shí)，貼緊客戶需求，加大技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)方面的投入

過去，我國半導(dǎo)體設(shè)備自主創(chuàng)新能力較弱，且由于半導(dǎo)體設(shè)備屬于精密儀器，零部件整合、組裝、測試中的任一細(xì)微環(huán)節(jié)少有瑕疵，都可以導(dǎo)致設(shè)備性能“差之毫厘謬以千里”，國內(nèi)半導(dǎo)體廠商長期致力于縮小和國外設(shè)備廠商的可靠性、穩(wěn)定性差距，大多數(shù)設(shè)備都屬于反向設(shè)計(jì)、研發(fā)，導(dǎo)致仿制設(shè)備盛行，由于缺乏自主研發(fā)能力及客戶定制能力，只能以“性價(jià)比”優(yōu)勢進(jìn)入晶圓廠進(jìn)行簡單的試產(chǎn)、測試或切入零件供應(yīng)。

同時(shí)，由于國外設(shè)備廠商有先發(fā)優(yōu)勢，積累了大量受法律保護(hù)的專利，有完善的專利布局，國內(nèi)設(shè)備廠商只能千方百計(jì)的“繞開”國外廠商的專利布局，由于專利問題，也只能小規(guī)模出貨。

隨著產(chǎn)業(yè)鏈逐步對(duì)國產(chǎn)半導(dǎo)體廠商打開，國產(chǎn)化配套帶來的性價(jià)比優(yōu)勢是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代的關(guān)鍵法寶。但隨著國內(nèi)客戶對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量、性能的要求越來越高，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商逐漸認(rèn)識(shí)到需要轉(zhuǎn)變發(fā)展模式，即緊密貼合客戶需求，加大技術(shù)創(chuàng)新和客戶服務(wù)方面的投入。例如，國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備廠商投入與存儲(chǔ)廠進(jìn)行深度的工藝開發(fā)，對(duì)技術(shù)細(xì)節(jié)和工藝難點(diǎn)進(jìn)行聯(lián)合攻關(guān)，國產(chǎn)設(shè)備對(duì)國內(nèi)產(chǎn)品而言是“深度定制化的”，設(shè)備的“設(shè)配性“提升，產(chǎn)品的穩(wěn)定性和可靠性都得到了提高；同時(shí)，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商要強(qiáng)化服務(wù)能力，具體體現(xiàn)在測試階段有高素質(zhì)技師來維護(hù)高良率和穩(wěn)定性，出現(xiàn)故障維修人員能及時(shí)響應(yīng)，且派遣技術(shù)人員在下游客戶晶圓廠長期駐點(diǎn)，以確保及時(shí)處理突發(fā)性問題以及應(yīng)對(duì)技術(shù)變化的可能帶來的挑戰(zhàn)。

產(chǎn)品性價(jià)比固然重要，而國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商緊密貼合客戶，加大技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)方面的投入更是當(dāng)務(wù)之急。

2.2、降低客戶轉(zhuǎn)換成本，加快客戶驗(yàn)證周期

過去，大家認(rèn)為國產(chǎn)半導(dǎo)體廠商和國際巨頭之間的差距主要體現(xiàn)在技術(shù)能力的差異。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)水平與國際先進(jìn)水平之間的差距逐漸縮小，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備商面臨的最大壁壘在于下游客戶的認(rèn)證壁壘，即高昂的客戶轉(zhuǎn)換成本。

現(xiàn)代先進(jìn)的IC制程大約有400~500道，一種設(shè)備僅負(fù)責(zé)其中一道或幾道。評(píng)估新設(shè)備除了要花費(fèi)大量驗(yàn)證時(shí)間（甚至犧牲部分產(chǎn)能）與其他設(shè)備商的產(chǎn)品進(jìn)行“一致性”整合，同事一臺(tái)設(shè)備一旦出現(xiàn)問題可能導(dǎo)致整條產(chǎn)線無法運(yùn)作，報(bào)廢的產(chǎn)品價(jià)值可能遠(yuǎn)超過新設(shè)備能提供的經(jīng)濟(jì)價(jià)值。因此，除非原廠供應(yīng)商出現(xiàn)重大技術(shù)缺陷或新設(shè)備具備突破性進(jìn)展，幾乎沒有晶圓廠商愿意花大量人力、時(shí)間并承擔(dān)新設(shè)備上線風(fēng)險(xiǎn)去評(píng)估新的設(shè)備。

不過由于中美貿(mào)易摩擦，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈不確定性增加，國內(nèi)晶圓廠出于供應(yīng)鏈安全角度考慮，對(duì)國內(nèi)設(shè)備供應(yīng)商的認(rèn)證意愿相比過去已大大增強(qiáng)。

從國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商而言，要抓住歷史窗口期。盡可能降低客戶的轉(zhuǎn)換成本，比如先做工藝流程、硬件參數(shù)等兼容，從“小客戶轉(zhuǎn)成成本”的機(jī)會(huì)入手，先進(jìn)入市場。要熟悉客戶生產(chǎn)流程，縮短客戶驗(yàn)證周期。

附錄：參考資料

1.       招商證券2019半導(dǎo)體設(shè)備專題系列之一：“自主可控“支撐長期成長

2.       招商證券-招商證券2019半導(dǎo)體設(shè)備專題系列之二：沖云破霧的檢測設(shè)備

3.       國信證券-國信證券半導(dǎo)體專題研究系列八：正在崛起的中國半導(dǎo)體設(shè)備

4.       方正證券-方正證券半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)研究框架總論：半導(dǎo)體景氣度反轉(zhuǎn)設(shè)備先行

5.       光大證券-光大證券半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)深度報(bào)告：國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)加速追趕，國產(chǎn)替代正當(dāng)時(shí)

6.       國元證券-國元證券半導(dǎo)體設(shè)備投資地圖

7.       興業(yè)證券-電子：探尋中國半導(dǎo)體設(shè)備全產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展機(jī)遇

8.       華泰證券-華泰證券半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)深度報(bào)告：2020，中國半導(dǎo)體設(shè)備的轉(zhuǎn)機(jī)之年

9.       申港證券-申港證券機(jī)械設(shè)備行業(yè)深度研究：泛半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)觀察新視角

10.    安信證券-華興源創(chuàng)（688001.SH）：檢測設(shè)備行業(yè)領(lǐng)先者，平板顯示與集成電路雙輪驅(qū)動(dòng)

11.    華西證券-賽騰股份（603283.SH）：無線耳機(jī)設(shè)備先行，緊抓蘋果迎“大年”

12.    開源證券半導(dǎo)體設(shè)備系列專題報(bào)告之一：半導(dǎo)體設(shè)備詳解——產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移與國家力量賦能國產(chǎn)化加速推進(jìn)

13.    開源證券-長川科技（300604.SZ）：“內(nèi)生 外延”做大做強(qiáng)主業(yè)，迎接產(chǎn)業(yè)黃金機(jī)遇期

14.    東吳證券-至純科技（603690.SH）：立足高純工藝，半導(dǎo)體清洗設(shè)備將迎增長

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16.    安信證券-芯源微（688037.SH）：涂膠顯影打破壟斷，濕法清洗國產(chǎn)先鋒

17.    德邦證券-北方華創(chuàng)（002371.SZ）：平臺(tái)型半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，國產(chǎn)替代帶來發(fā)展良機(jī)

18.    國聯(lián)證券-中微公司（688012.SH）：國芯之光，刻蝕設(shè)備領(lǐng)跑者

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